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ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究

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ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究

ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究

作者/编辑:陈祝[1] … http://www.unjs.com 自然科学论文
  [ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究]摘要:利用固相反应制备了直径为70mm,厚度为10~15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响,确定了最佳Li+掺杂量为2.2mol%,同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并采用所制备的ZnO-Li2.2%陶瓷靶和RF(射频磁控)技术在Si(100)、玻璃(载玻片)、及Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备出高度c轴(002)择优取向的ZnO薄膜,其绝缘电阻率ρ为4.12×108Ω·cm,达到了声表面波器件(SAW)的使用要求. 作者: 陈祝[1]  张树人[2]  杜善义[3]  杨成韬[2]  郑泽渔[2]  李波[2]  孙明霞[2] Author: CHEN Zhu[1]  ZHANG Shu-Ren[2]  DU Shan-Yi[3]  YANG Cheng-Tao[2]  ZENG Ze-Yu[2]  LI Bo[2]  SUN Ming-Xia[2] 作者单位: 成都信息工程学院通信工程系,成都,610225;电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨,150001 期 刊: 无机材料学报   ISTICEISCIPKU Journal: JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS 年,卷(期): 2006, 21(4) 分类号: N304 TB43 关键词: 陶瓷靶    氧化锌薄膜    射频磁控溅射    择优取向    机标分类号: TB3 TF1 机标关键词: 陶瓷靶材    靶制备    薄膜    溅射    工艺研究    ZnO Films    RF Magnetron Sputtering    实验确定    声表面波器件    掺杂量    最佳工艺    择优取向    使用要求    射频磁控    烧结实验    摩尔浓度    固相反应    成型压力    载玻片    电阻率 基金项目: ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究[期刊论文]  无机材料学报 --2006, 21(4)陈祝  张树人  杜善义  杨成韬  郑泽渔  李波  孙明霞利用固相反应制备了直径为70mm,厚度为10~15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响,确定了最佳Li+掺杂量为2.2mol%,同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材...
ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究2
  第2篇 Log integration on large scale for global networking monitoring
  〖预览〗Abstract:Supposing that the overall situation is dug out from the distributed monitoring nodes, there should be two critical obstacles, heterogenous schema and instance, to integrating heterogeneous data from different monitoring sensors. To tackle the challenge of heterogenous schema, an instance-based approach for schema mapping, named instance-based machine-learning (IML) approach was described. And to solve the problem of heterogenous instance, a novel approach, called statistic-based clustering (SBC) approach, which utilized clustering and statistics techno……【全文阅读:Log integration on large scale for global networking monitoring
ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究3
  第3篇 Basic function scheme of polynomial type
  〖预览〗Abstract:or shock waves.Combined with the adaptive remeshing technique,satisfactory results can be obtained. 作者: Author: Wang-yi wu  Guang LIN 作者单位: State Key Laboratory,for Turbulence and Complex System,Department of Mechanics and Aerospace Engineering,College of Engineering,Peking University,Beijing 100871,P.R.China 期 刊: 应用数学和力学(英文版)   EISCI ……【全文阅读:Basic function scheme of polynomial type】   〔ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究
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