EB-PVD法制备微层材料的研究

EB-PVD法制备微层材料的研究

简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阅的发展前景.

作 者： 李晓海 陈贵清 韩杰才 孟松鹤 Li Xiaohai Chen Guiqing Han Jiecai Meng Songhe   作者单位： 哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001  刊 名： 宇航材料工艺  ISTIC PKU 英文刊名： AEROSPACE MATERIALS & TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2005 35(6)  分类号： V25  关键词： 电子束物理气相沉积   微层材料   直接气相沉积  

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