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等离子体基低能离子注入技术的研究与发展

时间：2021-12-10 11:33:19 航空航天论文我要投稿

等离子体基低能离子注入技术的研究与发展

作者：雷明凯作者单位：刊名：真空科学与技术学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 1999 19(4) 分类号：关键词：

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