- 相关推荐
一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法
针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pull in)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响.通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动器的有效行程至2.09μm,达到初始间距的44%.
作 者： 饶伏波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 作者单位： 西北工业大学微/纳米系统实验室 刊 名： 航空制造技术 ISTIC 英文刊名： AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2007 ""(6) 分类号： V2 关键词： 平板电容驱动器 有效行程 拉入 MEMS【一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法】相关文章：
合成蒽醌的一种新方法04-27
如何快速增大胸肌 怎么增大胸肌12-31
基于MEMS的姿态测量系统04-26
区间型多属性决策的一种新方法04-27
求旋转体体积的一种新方法04-27
一种预测醇化学位移的新方法04-26
一种电波折射实时修正新方法04-26
监控DWDM系统工作波长的一种新方法04-26
一种建立分区变分原理的新方法04-27
一种抑制市电对高温SQUID干扰的新方法04-27