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一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法

时间：2021-12-10 11:00:13 航空航天论文我要投稿

一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法

针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pull in)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响.通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动器的有效行程至2.09μm,达到初始间距的44%.

作者：饶伏波乔大勇苑伟政姜澄宇作者单位：西北工业大学微/纳米系统实验室刊名：航空制造技术 ISTIC 英文刊名： AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2007 ""(6) 分类号： V2 关键词：平板电容驱动器有效行程拉入 MEMS

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