纳米电子器件呼唤真空化学研究

纳米电子器件呼唤真空化学研究

作 者： 李建昌 侯士敏 张兆祥   作者单位：   刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 1999 19(6)  分类号：   关键词：  

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