硅微陀螺仪的误差分析
以z轴硅微陀螺仪为研究对象,对加工误差产生的误差信号进行了分析.由于加工误差,使得陀螺仪结构不对称,主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等,产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象.以动力学方程为基础,分析了不等弹性和阻尼不对称产生的误差信号;以静电理论为基础,分析了驱动梳齿和敏感梳齿间距不等时产生的误差信号.分析结果表明,这些误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号.最后,介绍了一种减小正交误差的方法,并进行了仿真.
作 者： 施芹 裘安萍 苏岩 朱欣华 SHI Qin QIU An-ping SU Yan ZHU Xin-hua 作者单位： 南京理工大学机械工程学院,南京,210094 刊 名： 传感技术学报 ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS 年，卷(期)： 2006 19(5) 分类号： V2 关键词： 硅微陀螺仪 加工误差 不等弹性 正交误差