大离轴量抛物面镜的加工
大离轴抛物面镜的加工与检测是当今光学加工的热门课题.本文介绍了为新加坡同步辐射光源研制的离轴抛物面镜,包括抛物面镜的加工与检测.该抛物面镜零件的特点是离轴量1米以上,倾斜度误差与表面粗糙度要求都很高.加工的最终倾斜度误差为1.55弧秒,粗糙度RMS为2.24纳米,达到国际同类镜的先进水平.
作 者： 贺军峰 耿素杰 周长新 姚春 周承志 姜海燕 HE Junfeng GENG Sujie ZHOU Changxin YAO Chun ZHOU Chengzhi JIANG Hai Yan 作者单位： 贺军峰,耿素杰,HE Junfeng,GENG Sujie(长春理工大学光电工程学院,长春,130022)周长新,姚春,周承志,姜海燕,ZHOU Changxin,YAO Chun,ZHOU Chengzhi,JIANG Hai Yan(长春光机物理所,长春,130033)
刊 名： 长春理工大学学报（自然科学版） ISTIC 英文刊名： JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年，卷(期)： 2008 31(2) 分类号： V261.2 关键词： 抛物面镜 离轴 加工 检测