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准分子激光均束器及其研究进展

时间:2021-12-08 09:49:37 交通运输论文 我要投稿

准分子激光均束器及其研究进展

以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准分子激光光束均匀化的重要性;按照折射光学元件、衍射光学元件和混合光学元件分类的方法,分别对这三类准分子激光均束器进行了介绍,并对其特点、应用和进展情况进行了综述.

准分子激光均束器及其研究进展

作 者: 裴文彦 周金运 林清华   作者单位: 裴文彦(广东工业大学实验教学部)

周金运,林清华(广东工业大学物理与光电工程学院,广东,广州,510006) 

刊 名: 中国科技博览  英文刊名: ZHONGGUO BAOZHUANG KEJI BOLAN  年,卷(期): 2009 ""(7)  分类号: U305.7  关键词: 准分子激光   均束器   光刻   加工窗