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一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

时间：2021-12-12 18:27:36 数理化学论文我要投稿

一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术.监控系统简单,操作方便,可以应用于国产镀膜机.由此技术批量制备SOA,腔面剩余反射均接近10-4.

作者：段子刚刘德明作者单位：段子刚(深圳大学,光电子学研究所,广东省光电子器件与系统重点实验室,深圳,518060)

刘德明(华中科技大学,光电子工程系,武汉,430074)

刊名：激光技术 ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2004 28(5) 分类号： O484.1 TN248.4 关键词：半导体光放大器增透膜剩余反射适时监控

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