从光电子峰的背景信号获得成分深度分布信息: Tougaard背景拟合方法
光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.实际上通过分析背景信号,可以获得成分随深度分布等信息.本文介绍Tougaard背景拟合法及其在光电子谱深度剖析中的应用.
作 者： 季振国 朱玲 作者单位： 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 刊 名： 真空科学与技术学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2002 22(6) 分类号： O655.9 O482.7 关键词： 光电子谱 背景拟合 深度剖析