电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性
在电子回旋共振(ECR)等离子体装置中,使用Ar气,N2气,H2气和普通空气放电,对聚四氟乙烯(PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能.详细研究了在不同的放电气压,微波功率,处理时间,气体种类的情况下,样品表面的接触角的变化.同时也讨论了样品导电性能和外观等的变化.使用红外吸收谱对样品结构处理前后的变化进行了测量,对等离子体处理的机理进行了初步的讨论.使用Langmuir探针测量了Ar气和N2气等离子体中的离子密度,用能量分析器测量了离子的能量.发现在对样品的处理中,ECR等离子体的离子密度是影响表面性能的主要因素,离子能量的作用不明显.
作 者： 温晓辉 詹如娟 作者单位： 中国科学院结构分析开放实验室,中国科学技术大学近代物理系,安徽合肥,230026 刊 名： 真空科学与技术学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2002 22(5) 分类号： O539 关键词： 电子回旋共振等离子体 表面改性 聚四氟乙烯 离子密度 离子能量