软X射线多层膜反射镜界面粗糙度的一种估算方法
介绍了描述单个非理想粗糙界面散射的D. G. Stearns法,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用它的数学模型来描述软X射线短波段区域(1～10 nm)多层膜界面粗糙度.在此理论下,对波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行了分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.
作 者： 宋利民 胡家升 作者单位： 大连理工大学电子与信息工程学院,辽宁大连,116024 刊 名： 中国激光 ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS 年，卷(期)： 2002 29(3) 分类号： O484.5 关键词： 多层镜 界面粗糙度 反射率