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直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜

时间:2021-12-09 16:41:59 数理化学论文 我要投稿

直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜

用MgB2靶,控制直流磁控溅射工作在异常辉光放电或弧光放电状态,在SrTiO3衬底上原位一次性得到了MgB2超导薄膜,其起始转变温度为32K,零电阻温度为15K.

作 者: 马平 刘乐园 张升原 王昕 谢飞翔 邓鹏 聂瑞娟 王守证 戴远东 王福仁   作者单位: 人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京大学物理系,北京,100871  刊 名: 物理学报  ISTIC SCI PKU 英文刊名: ACTA PHYSICA SINICA  年,卷(期): 2002 51(2)  分类号: O4  关键词: 高温超导体   超导薄膜   磁控溅射   二硼化镁