数字全息显微测量技术的发展与最新应用
数字全息显微测量技术是检测显微样本微观结构的重要手段,具有系统简单、非入侵、动态性好等特点,是一种很好地具有应用前景的技术.综述了数字全息显微测量技术的发展,分析并比较了数字全息显微测量技术与其它显微测量技术的特点;归纳并分析了数字全息显微测量技术的典型光路系统及其特点;总结了数字全息显微测量技术的数值再现算法和误差抑制技术;列举了数字全息显微测量技术的最新应用.
作 者: 周文静 于瀛洁 陈明仪 ZHOU Wen-jing YU Ying-jie CHEN Ming-yi 作者单位: 周文静,ZHOU Wen-jing(上海大学,精密机械工程系应用光学与检测实验室,上海,200072;广东海洋大学,信息学院自动化系,广东,湛江,524088)于瀛洁,陈明仪,YU Ying-jie,CHEN Ming-yi(上海大学,精密机械工程系应用光学与检测实验室,上海,200072)
刊 名: 光学技术 ISTIC PKU 英文刊名: OPTICAL TECHNIQUE 年,卷(期): 2007 33(6) 分类号: O438.1 关键词: 光学测量 显微结构测量 数字全息显微技术 数值再现 误差抑制