脉冲激光制备ZnO薄膜烧蚀过程中的温度演化
为了研究脉冲激光烧蚀氧化锌靶材的整个过程,给出脉冲激光作用块状靶材的烧蚀模型.从包含热源项的导热方程出发,利用适当的动态边界条件,详细研究了靶材在熔融前的温度分布规律.结果表明,靶材熔融前,在固定位置,温度随时间推移而升高,且距离靶面越近,变化率越大.在同一时刻不同位置,温度随着热扩散距离增加而下降;并采用精确解与积分近似法相结合的方案,给出熔融后固液两相的温度分布与时间和位置的变化关系.液相的温度梯度随扩散距离增加而下降,在距烧蚀面0.5μm之内,温度梯度很大;在0.5μm后面的部分,温度变化就很缓慢;固相的温度变化较为复杂.
作 者： 胡春香 陶向阳 叶志清 饶丰 HU Chun-xiang TAO Xiang-yang YE Zhi-qing RAO Feng 作者单位： 江西师范大学,物理与通信电子学院,南昌,330022;江西师范大学,光电子与通信重点实验室,南昌,330022 刊 名： 激光技术 ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2007 31(6) 分类号： O469 关键词： 激光技术 熔融 温度演化 热流方程