用IR研究H+辐照对Mo涂层的影响

用IR研究H+辐照对Mo涂层的影响

在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积,沉积后的试样再进行氢离子注入.分别对氢离子注入前后的样品进行500～4000波数范围内IR分析,研究了氢离子辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化,对Mo涂层的抗氢机理进行了探讨.

作 者： 刘春海 杜晓松 汪德志 黄宁康 杨斌 LIU Chun-hai DU Xiao-song WANG De-zhi HUANG Ning-kang YANG Bin   作者单位： 刘春海,汪德志,黄宁康,杨斌,LIU Chun-hai,WANG De-zhi,HUANG Ning-kang,YANG Bin(四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室,成都,610064)

杜晓松,DU Xiao-song(电子科技大学光电信息学院,成都,610054) 

刊 名： 原子与分子物理学报  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF ATOMIC AND MOLECULAR PHYSICS  年，卷(期)： 2007 24(6)  分类号： O484.5  关键词： Mo薄膜   离子束混合   电子束处理   IR   H+辐照