碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响
考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.
作 者： 邱华檀 王友年 马腾才 作者单位： 大连理工大学物理系、三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 刊 名： 物理学报 ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA 年，卷(期)： 2002 51(6) 分类号： O4 关键词： 射频放电 等离子体 离子 鞘层