高频有机聚合物SAW湿度传感器的研究

高频有机聚合物SAW湿度传感器的研究

以双端口433.92 MHz的SAW谐振器(SAWR)为敏感元件,分别以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、磺基水杨酸(SSA)掺入PVP为敏感材料.对PVP掺杂前后湿度传感器的性能测试表明,沉积有PVP的SAWR感湿元件回复缓慢,可逆性差,而沉积SSA-PVP的感湿元件则表现出明显的可逆性,其响应速率和回复性明显均优于单一的PVP传感器,且响应频率与湿度表现出明显地线性相关性,其相关系数R可达0.996 21.

作 者： 王华 应智花 杜晓松 蒋亚东 谢光忠 何为 WANG Hua YING Zhi-hua DU Xiao-song JIANG Ya-dong XIE Guang-zhong HE Wei   作者单位： 王华,应智花,杜晓松,蒋亚东,谢光忠,WANG Hua,YING Zhi-hua,DU Xiao-song,JIANG Ya-dong,XIE Guang-zhong(电子科技大学,光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054)

何为,HE Wei(电子科技大学,应用化学系,四川,成都,610054) 

刊 名： 压电与声光  ISTIC PKU 英文刊名： PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS  年，卷(期)： 2007 29(6)  分类号： O656  关键词： SAW传感器   双端口谐振型   聚乙烯吡咯烷酮   湿度传感器