差动光程差倍增法测量微小位移
基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化,采用差动干涉方法,提高了光程改变量与位移量的比例,使微小位移的测量精度提高到亚微米量级.
作 者： 江立辉 蔡春潮 梁建波 彭广生 张红 邓诚先 JIANG Li-hui CAI Chun-chao LIANG Jian-bo PENG Guang-sheng ZHANG Hong DENG Cheng-xian 作者单位： 华南理工大学,理学院,广东,广州,510640 刊 名： 物理实验 PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION 年，卷(期)： 2009 29(6) 分类号： O436.1 关键词： 光程差倍增 差动干涉 电桥