多功能微波等离子体教学研究装置的研制

多功能微波等离子体教学研究装置的研制

针对目前国内等离子体技术的教学和研究远远落后于工程应用的实际情况,开发了多功能微波等离子体教学研究装置.该装置利用频率2.45 GHz的微波激励稀薄气体放电,形成轴对称的等离子体球,产生的等离子体无内部电极,可避免放电污染.同时通过微波技术、真空技术、冷却技术的集成,使该装置结构紧凑、性能稳定、性价比较高.利用该装置进行了金刚石薄膜沉积与离子体诊断实验,效果良好.

作 者： 张磊 侯想 胥明 夏明荣 马志斌 ZHANG Lei HOU Xiang XU Ming XIA Ming-rong MA Zhi-bin   作者单位： 张磊,侯想,胥明,马志斌,ZHANG Lei,HOU Xiang,XU Ming,MA Zhi-bin(武汉工程大学,等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北,武汉,430074)

夏明荣,XIA Ming-rong(杭州大华仪器制造有限公司,浙江,杭州,311400) 

刊 名： 大学物理  PKU 英文刊名： COLLEGE PHYSICS  年，卷(期)： 2009 28(6)  分类号： O4-33  关键词： 微波等离子体   金刚石膜沉积   离子体诊断