Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究
用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂znO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌.结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0 at.%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,rms粗糙度增大到4.625,相应的分形谱宽△α从0.019增大到0.287,分形参数△f由-0.075变为0.124.
宋学萍,孙兆奇,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi(安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥,230039)
刊 名： 电子显微学报 ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY 年，卷(期)： 2008 27(3) 分类号： O766 O484 TG115.21+5.7 关键词： Al掺杂ZnO薄膜 原子力显微图像 表面形貌 多重分形谱