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一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法
摘要：辉光放电原子发射光谱仪可用于物质表面化学成分随深度分布的分析,在镀层分析、金属材料检验等领域有着广泛的应用.文章介绍了辉光深度分析的传统方法和局限性以及实时深度测量技术的'近期研究,提出了一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法.文章采用激光位移传感器和根据激光测最方法设计的辉光放电光源构成实时深度测量系统,详细阐述了系统的设计方案和技术原理.系统的设计结构能够实现在辉光光谱分析的同时进行激光实时溅射深度的测量.通过实验验证和分析了激光实时测量样品溅射深度过程中产生的光源位移现象.采用双激光器实时深度测量系统对锌合金标准样品进行了溅射深度的实时测量,给出了实时深度测最曲线.通过将溅射面测量曲线与参考面曲线进行叠加,得到了样品溅射坑深度的实际值,与Dektak8型表面形貌仪测量结果一致. 作者： 万真真[1]李小佳[1]王永清[2]施宇[3]孙荣霞[2] Author： WAN Zhen-zhen[1] LI Xiao-jia[1] WANG Yong-qing[2] SHINing[3] SUN Rong-xia[2] 作者单位： 钢铁研究总院,国家钢铁材料测试中心,北京100081河北大学电子信息工程学院,河北保定,071002北京航空航天大学软件学院,北京,100191 期 刊： 光谱学与光谱分析 ISTICEISCIPKU Journal： Spectroscopy and Spectral Analysis 年，卷(期)： 2011, 31(9) 分类号： O657.3 关键词： 辉光放电原子发射光谱仪 深度轮廓分析 激光测量 实时深度测量 辉光放电 镀层 机标分类号： O65 O73 机标关键词： 辉光放电光谱 深度分析 激光位移传感器 实时测量 新方法 Analysis Depth Profile Laser Measurement Determination Method 溅射 测量系统 原子发射光谱仪 合金标准样品 设计方案 测量曲线 表面化学成分 表面形貌仪 文章 位移现象 实验验证 基金项目： 国家科技部科学仪器设备升级改造专项课题【一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法】相关文章：
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