焦平面探测器ZnS增透技术研究
在InSb焦平面探测器(FPA)制造中,InSb芯片背面经磨抛减薄后需要在表面镀制增透膜,增大InSb芯片对红外光的吸收.本文介绍了采用磁控溅射方法镀制不同厚度的ZnS膜,测量其光谱透过率及反射率,利用红外焦平面测试系统比较了ZnS膜和SiO2膜的增透效果,结果表明磁控溅射的ZnS膜具有更优的增透效果和均匀性.
作 者: 郑克霖 傅月秋 王海珍 作者单位: 中国空空导弹研究院 刊 名: 内江科技 英文刊名: NEIJIANG KEJI 年,卷(期): 2009 30(11) 分类号: P3 关键词: InSb焦平面探测器 ZnS 增透 磁控溅射