基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析
晶圆制造生产线由于存在回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象,使得生产管理及调度问题变得极为复杂.建立描述系统的模型是优化系统性能的前提,指出了用Petri网建立晶圆制造系统模型的优点,建立了一个拥有4个工作中心、8台设备的晶圆制造系统Petri网模型,并对模型进行分析.最后提出了下一步的工作目标.
作 者： 邵志芳 钱省三 作者单位： 上海理工大学,工业工程研究所/微电子发展研究中心,上海,200093 刊 名： 系统工程理论方法应用 ISTIC PKU 英文刊名： SYSTEMS ENGINEERING-THEORY METHODOLOGY APPLICATIONS 年，卷(期)： 2004 13(2) 分类号： N945.12 关键词： 半导体晶圆制造 Petri网模型 分析