三轴气浮平台供气系统的研究
以三轴气浮平台为背景,介绍了三轴气浮平台供气系统的系统构成.针对气浮球轴承的使用环境,提出了供气系统的精度和安全性能要求.设计了系统的过滤装置、管道以及安全报警装置,并提出了故障应急措施.实验表明系统能对三轴气浮平台实验提供有效安全的供气保障.
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