激光微技术的发展现状
介绍了激光微加工技术的特点,与其它微加工技术相比,激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点,既可以通过去除方式,也可以通过材料堆积进行微加工成型.综述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势,微机电系统(MEMS)技术的进一步成熟,必将带动激光微技术快速发展.
作 者： 陈继民 Chen Jimin 作者单位： 北京工业大学激光工程研究院,北京,100022 刊 名： 激光与光电子学进展 ISTIC PKU 英文刊名： LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS 年，卷(期)： 2006 43(9) 分类号： V261.8 关键词： 激光微技术 去除 加成 微成型