MEMS陀螺正交误差分析与仿真
针对MEMS陀螺由于机械耦合引起的正交误差,建立了包含误差的MEMS陀螺动力学方程,在开环检测和闭环检测情况下,分别对正交误差进行了分析,并通过相关检测技术抑制正交误差对陀螺性能的影响,提取出角速度信息.运用Simulink对陀螺进行了建模仿真,仿真结果表明:在开环检测和闭环检测情况下都能够有效消除正交误差的影响,由此验证了理论分析的正确性.
作 者： 温佰仟 刘建业 李荣冰 WEN Bai-qian LIU Jian-ye LI Rong-bing 作者单位： 南京航空航天大学,导航研究中心,江苏,南京,210016 刊 名： 传感器与微系统 PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 年，卷(期)： 2008 27(9) 分类号： V241.5 关键词： 微电子机械系统 陀螺 正交误差 机械耦合 平均化分析方法