静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计
为实现对悬浮转子微陀螺转子五自由度的测量,提出了一种频分复用的微位移检测原理,主要介绍了多频率信号发生器,前置放大器,锁橱放大器组成的测试系统,设计了一种基于DDS技术的多频率信号发生器和基于锁相放大原理的解调电路.实验和分析结果表明,该电路能实现多自由度微位移检测,设计的多频率信号发生器的频率分辨率能达到0.005821Hz,相位分辨率可以达到0.006rad,检测轴向灵敏度为1.34V/μm,检测径向灵敏度为0.092V/μm,测量电路的轴向位移分辨率为0.45nm,径向位移分辨率为6.6nm,转角的分辨率为0.25μrad,位移检测电路的分辨率,灵敏度和测量范围能够满足静电悬浮转子微陀螺的控制需要.
作 者： 肖奇军 陈文元 崔峰 李胜勇 黄晓刚 邵珰珰 作者单位： 肖奇军(上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,2000130;广东肇庆学院电子信息工程系,广东肇庆,526061)陈文元,崔峰,李胜勇,黄晓刚,邵珰珰(上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,2000130)
刊 名： 机电工程技术 英文刊名： MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2009 38(5) 分类号： U666.1 关键词： 微陀螺 微位移检测 信号发生器 锁相放大器