悬浮转子式微机械陀螺仪的研究进展

悬浮转子式微机械陀螺仪的研究进展

介绍了一种不同于振动式微机械陀螺仪的新型微机电系统陀螺-悬浮转子式微机械陀螺仪,并就国内外关于磁悬浮转子微陀螺和静电悬浮转子微陀螺研究的各种结构及其工作原理、工艺和性能特点进行了概述,以展示这一新颖微陀螺的研究现状和发展趋势.

作 者： 崔峰 陈文元 苏宇锋 吴校生 CUI Feng CHEN Wen-yuan SU Yu-feng WU Xiao-sheng   作者单位： 上海交通大学,微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030  刊 名： 压电与声光  ISTIC PKU 英文刊名： PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS  年，卷(期)： 2005 27(3)  分类号： V241.5  关键词： 微机电系统   微机械陀螺   磁悬浮   静电悬浮   转子  

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