微机械轮式陀螺仪的结构分析

微机械轮式陀螺仪的结构分析

以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导.

作 者： 郭宏宾 赵玉龙 蒋庄德 GUO Hong-bin ZHAO Yu-long JIANG Zhuang-de   作者单位：   刊 名： 微纳电子技术  ISTIC PKU 英文刊名： MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 44(7)  分类号： V241.55  关键词： 微机电系统   硅微机械陀螺   有限元方法   模态分析   谐响应分析  

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