微电容加速度计系统的设计
为了在总体上把握硅微加速度计的设计,建立了叉指式硅微加速度计的机械模型,研究了全差分二阶∑-△ADC接口检测电路提取加速度信号,优化了开关电容电路来检测微小电容变化量,运用微机电专用设计软件CoventorWare对系统的机电混合模型进行仿真,并给出数字和模拟的分析结果,为加速度计系统的机械部分和电路部分的设计提供整体的更接近实际的设计参考.
作 者： 解磊 苏伟 陈泉根 XIE Lei SU Wei CHEN Quan-gen 作者单位： 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 刊 名： 传感器与微系统 PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 年，卷(期)： 2007 26(11) 分类号： U666.122 关键词： 加速度计 微机电系统 仿真