特种陶瓷在半导体工业中的应用
由于具备优越的机电和物理性能,特种陶瓷在半导体工业中得到日益广泛的应用.随着集成电路(Inte-grated Circuit,IC)向小型化、高速化和低成本方向发展,半导体设备制造商越来越依赖特种陶瓷部件才能使他们的设备满足IC工业的要求.用于半导体工业的特种陶瓷多数仍然采用传统的制备工艺,最大的不同是要求特种陶瓷具有很高的纯度,有时还对特种陶瓷的电性能要求苛刻.主要产品有各种密封环和圈,拱形盖,各种扩散炉衬里,各种销钉,晶片基板和衬托器,端面效应器,真空卡盘,见图1所示.
作 者： 万冬梅 作者单位： 佛山市陶瓷研究所,528031 刊 名： 佛山陶瓷 英文刊名： FOSHAN CERAMICS 年，卷(期)： 2000 ""(5) 分类号： F4 关键词：