厚度效应对Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜微结构、铁电、介电性能的影响
用改进的溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了不同厚度的高度(111)取向的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜.运用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的微结构,原子力显微镜表明厚度为0.3μm和0.56μm的PZT薄膜的晶粒尺寸和表面粗糙度分别为0.2～0.3μm、2～3μm和0.92nm、34nm.0.3μm和0.56μm PZT薄膜的剩余极化(Pr)和矫顽场(Ec)分别为32.2μC/cm2、79.9kV/cm, 27.7μC/cm2 、54.4 kV/cm;在频率100KHz时,薄膜的介电常数和介电损耗分别为539、0.066,821、0.029.
作 者： 梁龙 吴斌 杨德军 作者单位： 梁龙(北京航空材料研究院,先进复合材料国防科技重点实验室,北京,100095)吴斌(二炮北京军代局,北京,100083)
杨德军(二炮驻699厂军代室,北京,100083)
刊 名： 光学精密工程 ISTIC EI PKU 英文刊名： OPTICS AND PRECISION ENGINEERING 年，卷(期)： 2002 10(5) 分类号： O484.4 关键词： PZT薄膜 铁电性质 介电性质