(Pb1-xSrx)TiO3系铁电薄膜的极化反转特性
采用磁控溅射技术在Si基底上制备了(Pb1-xSrx)TiO3(简称PST)铁电薄膜,采用双极性、双脉冲方波电压测试了其极化反转特性.测试结果表明,所制备的PST铁电薄膜的电流密度峰值达10-4A/mm2量级,开关时间可达1.0 ms左右,极化反转特性较好,有望未来在Si基集成单片红外探测焦平面阵列研制中加以应用.
作 者： 钟锐 王茂祥 简余良 穆志纯 ZHONG Rui WANG Maoxiang JIAN Yuliang MU Zhichun 作者单位： 刊 名： 固体电子学研究与进展 ISTIC PKU 英文刊名： RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS 年，卷(期)： 2008 28(3) 分类号： O484 关键词： 钛酸锶铅 铁电薄膜 磁控溅射 极化反转