全息平面变间距光栅位移传感器研究

全息平面变间距光栅位移传感器研究

基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05 mm,相对误差可以控制在0.2% FS之内,优于设计指标.

作 者： 楼俊 付绍军 刘正坤 徐向东 何世平 李秉实 吴忠 LOU Jun FU Shao-jun LIU Zheng-kun XU Xiang-dong HE Shi-ping LI Bing-shi WU Zhong   作者单位： 楼俊,LOU Jun(中国计量学院,光电子技术研究所,杭州,310018;中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029)

付绍军,刘正坤,徐向东,何世平,FU Shao-jun,LIU Zheng-kun,XU Xiang-dong,HE Shi-ping(中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029)

李秉实,吴忠,LI Bing-shi,WU Zhong(西安航空618研究所,西安,710065) 

刊 名： 光子学报  ISTIC PKU 英文刊名： ACTA PHOTONICA SINICA  年，卷(期)： 2007 36(4)  分类号： O436 TH7  关键词： 全息光栅   变间距光栅   位移传感器