氮氧混合气体高压脉冲电晕放电等离子体的分子束质谱诊断研究

氮氧混合气体高压脉冲电晕放电等离子体的分子束质谱诊断研究

利用具有三级差分抽气系统的分子束质谱仪为检测手段,对N2,O2混合气体的线板式高压脉冲电晕放电等离子体阴极板区的正离子成分进行了诊断研究.实验结果表明:在放电反应室N2,O2混合气体压力1330～3325 Pa,峰值电压4～10 kV及放电重复频率10～100 Hz范围内,N+2和O+流强相当,N+流强约为N+2流强的2～10倍.N+,N+2和O+流强随脉冲峰值电压、放电重复频率的升高而增大,随放电气压的变化则存在一极值.

作 者： 唐书凯 王文春 徐勇 刘佳宏 杨学锋 吴彦   作者单位： 唐书凯,王文春,徐勇,刘佳宏,杨学锋(大连理工大学等离子体物理化学实验室,大连,116024)

吴彦(大连理工大学静电与特种电源研究所,大连,116024) 

刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(2)  分类号： O461.1 O461.2+5  关键词： 分子束质谱   高压脉冲电晕放电   离子检测   N2+O2等离子体