氩离子激光固化环氧树脂制作三维微结构
利用激光束进行三维成像是通过逐层光引发聚合形成宏观尺度的三维实体. 最近出现的激光全息光刻技术是利用激光束的干涉产生三维全息图案, 让感光树脂在全息图案中曝光, 从而一次形成三维周期有序微结构. 通过调节激光干涉及波长可控制三维结构的形状及尺寸.利用该技术获得亚微米尺度上周期性重复的三维微结构, 可用于制作三维光子晶体[1,2]等具有独特性能的聚合物材料.本文用铁芳烃化合物与特种环氧树脂配制成阳离子型可见光固化树脂, 在氩离子激光器产生的多束可见连续激光相干形成的空间干涉光场中曝光, 成功地制备出亚微米量级的三维周期有序结构. 用可见连续激光进行全息法微制作, 与紫外光聚合[1]相比较, 其优点是可见连续光的光路可调节, 所需光功率非常小, 适合光路扩束后大面积制作微小周期结构.
作 者： 曾兆华 王霞 杨建文 汪河洲 陈用烈 作者单位： 曾兆华,杨建文,陈用烈(中山大学化学与化学工程学院高分子研究所)王霞,汪河洲(超快速激光光谱学国家重点实验室,广州,510275)
刊 名： 高等学校化学学报 ISTIC SCI PKU 英文刊名： CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES 年，卷(期)： 2002 23(6) 分类号： O631 关键词： 氩离子激光 全息光刻技术 感光树脂 微结构