超薄型Pt膜温度传感器的微加工技术研究
为了掌握采用激光微加工技术加工超薄型Pt膜温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调Q原理的Nd-YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光工艺参数与传感器基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调-阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精确度的关系.
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