超薄型Pt膜温度传感器的微加工技术研究

超薄型Pt膜温度传感器的微加工技术研究

为了掌握采用激光微加工技术加工超薄型Pt膜温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调Q原理的Nd-YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光工艺参数与传感器基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调-阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精确度的关系.

作 者： 冯侨华 施云波 FENG Qiao-hua SHI Yun-bo   作者单位： 哈尔滨理工大学,测控技术与通信工程学院,黑龙江,哈尔滨,150040  刊 名： 哈尔滨理工大学学报  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 12(5)  分类号： O439 TP212.11  关键词： 激光精密加工   激光划片   激光调阻   超薄型Pt膜温度传感器  

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