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用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台

时间:2021-12-10 17:50:20 数理化学论文 我要投稿

用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台

介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理,其特点是:结构紧凑,承载量大,精度高;采用步进电机驱动实现三维精密运动,并通过数字电路与软件实现其智能化,同时备有手动工作模式.

作 者: 夏绍建 张耀明 邹丽新   作者单位: 夏绍建(中国科学院上海原子核研究所,上海,201800)

张耀明,邹丽新(苏州大学,现代光学技术研究所,江苏,苏州,215006) 

刊 名: 光学精密工程  ISTIC EI PKU 英文刊名: OPTICS AND PRECISION ENGINEERING  年,卷(期): 2002 10(6)  分类号: O432.1  关键词: 同步辐射   光束   三维精密平台