用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台
介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理,其特点是:结构紧凑,承载量大,精度高;采用步进电机驱动实现三维精密运动,并通过数字电路与软件实现其智能化,同时备有手动工作模式.
作 者: 夏绍建 张耀明 邹丽新 作者单位: 夏绍建(中国科学院上海原子核研究所,上海,201800)张耀明,邹丽新(苏州大学,现代光学技术研究所,江苏,苏州,215006)
刊 名: 光学精密工程 ISTIC EI PKU 英文刊名: OPTICS AND PRECISION ENGINEERING 年,卷(期): 2002 10(6) 分类号: O432.1 关键词: 同步辐射 光束 三维精密平台