用ZEMAX模拟五棱镜误差对平行度检测的影响
介绍了用五棱镜法检测大口径光束平行度的原理.分析了五棱镜加工的角度误差及面形误差对检测结果的影响,得出了五棱镜角度误差不影响检测结果,2个折射面的面形误差对检测结果的影响较小,2个反射面的面形误差对检测结果影响最大的结论.介绍了选择五棱镜的方法和减小面形误差影响的方法.最后,给出了用五棱镜法检测单星模拟器出射光束平行度的应用实例.
作 者： 闫亚东 何俊华 仓玉萍 陈良益 YAN Ya-dong HE Jun-hua CANG Yu-ping CHEN Liang-yi 作者单位： 闫亚东,仓玉萍,YAN Ya-dong,CANG Yu-ping(中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西,西安,710119;中国科学院研究生院,北京,100039)何俊华,陈良益,HE Jun-hua,CHEN Liang-yi(中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西,西安,710119)
刊 名： 应用光学 ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF APPLIED OPTICS 年，卷(期)： 2007 28(5) 分类号： O435 TH74 关键词： 五棱镜法 平行度检测 ZEMAX模拟 角度误差 面形误差