真空发生器系统吸附响应时间的确定

真空发生器系统吸附响应时间的确定

真空发生器是一种重要的真空发生装置,广泛地应用于自动化生成领域.本文的目的是确定真空发生器系统的吸附响应时间以实现过程的精密控制.文中根据瞬变流理论和真空发生器的流量特性,建立了用于计算真空发生器吸附系统真空度时间变化以及吸附响应时间的数学模型,利用特征线方法进行了数值求解,数值模拟结果与实验值吻合得相当好,从而证明了所建立的真空发生器系统吸附响应时间模型的正确性.

作 者： 姚朝晖 何枫 陈远   作者单位： 清华大学工程力学系,北京,100084  刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(3)  分类号： O35.10  关键词： 真空发生器   流量特性   吸附响应时间   特征线法  

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