TiAIN复合涂层的应力分析与研究
采用有限元软件ANSYS,针对TiAIN涂层形成过程进行了分析,并把仿真结果与采用曲率法测定的涂层应力进行了比较,验证了该分析方法和仿真模型的正确性及仿真结果的可靠性;进而应用该分析法仿真计算了曲率法不适用的一个典型模型,结果表明,由于涂层和基体的热膨胀系数不同,使得涂层靠近边缘处的应力较小,而在涂层中心位置应力达到最大值,且随着涂层厚度的增加,涂层的应力呈下降趋势,有效地防止了涂层与基体的剥离,具有重要的现实意义.
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