超硬多层薄膜的研究现状及展望

超硬多层薄膜的研究现状及展望

超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望.

作 者： 李宁 宋绪丁 LI Ning SONG Xu-ding   作者单位： 长安大学工程机械学院,陕西,西安,710064  刊 名： 材料保护  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF MATERIALS PROTECTION  年，卷(期)： 2005 38(7)  分类号： V261.93  关键词： 超硬多层薄膜   超晶格薄膜   纳米多层膜   类金刚石  

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