常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性
对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影响,而且阻尼匹配也会影响陀螺的灵敏度和频率特性.
作 者： 刘晓为 陈宏 陈伟平 陆学斌 韩天 LIU Xiao-wei CHEN Hong CHEN Wei-ping LU Xue-bin HAN Tian 作者单位： 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 刊 名： 传感技术学报 ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS 年，卷(期)： 2006 19(5) 分类号： V2 关键词： 微机械电子系统 陀螺 阻尼匹配 频率特性