硅微技术在导航、制导与控制中的应用及发展趋势

硅微技术在导航、制导与控制中的应用及发展趋势

主要对近几年来微机电系统的技术进步和应用情况作了介绍,特别对基于微机电技术的敏感器和执行机构在航空和航天领域的导航、制导和控制方面的应用进展作了较为详细的叙述,最后指出了MEMS技术的发展趋势和目前正在突破的关键技术.

作 者： 周凤岐 刘智平 周军 ZHOU Feng-qi LIU Zhi-ping ZHOU Jun   作者单位： 西北工业大学,航天学院,陕西,西安,710072  刊 名： 测控技术  ISTIC PKU 英文刊名： MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 26(3)  分类号： V241  关键词： 硅微敏感器   导航、制导与控制   执行机构   噪声模型  

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