振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟
根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸;根据建立的陀螺振动的等效电路模型,对检测振动的性能进行了模拟分析,该模型为传感器与接口电路的整体模拟打下了基础.
作 者： 车录锋 熊斌 王跃林 作者单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 刊 名： 航空学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA 年，卷(期)： 2002 23(3) 分类号： V241.5 O318 O327 关键词： 微机械陀螺 优化设计 等效电路模型 模拟