脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜
为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分析.分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5∶ 1的掺杂梯度薄膜.该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的.
作 者： 胡少六 江超 何建平 王又青 作者单位： 胡少六,何建平,王又青(华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074)江超(华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074;湖北师范学院,物理系,黄石,435002)
刊 名： 激光技术 ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2004 28(5) 分类号： O484 关键词： Al/Ag掺杂薄膜 脉冲激光沉积 微观分析 工艺参数