脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分析.分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5∶ 1的掺杂梯度薄膜.该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的.

作 者： 胡少六 江超 何建平 王又青   作者单位： 胡少六,何建平,王又青(华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074)

江超(华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074;湖北师范学院,物理系,黄石,435002) 

刊 名： 激光技术  ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 28(5)  分类号： O484  关键词： Al/Ag掺杂薄膜   脉冲激光沉积   微观分析   工艺参数  

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