感光薄膜与二维Bragg光栅制备
微细的二维Bragg光栅在光信息领域有重要应用,传统的干法或湿法蚀刻在高密度格子制备方面有很大难度,研究合成了具有紫外感光性的含锆溶胶,进一步在硅和石英基板上制备了含锆感光性凝胶薄膜,直接利用这种感光性凝胶薄膜,结合激光干涉技术和热处理过程,可在硅基板或石英基板上制备出反射型或透过型二维Bragg格子光栅,X-射线衍射表明,经过热处理后构成格栅的材料为多晶的四方相ZrO2,这类光栅不含有机物,衍射光符合Bragg条件,格子的周期为1μm,格栅线条或栅孔尺寸约0.5μm.
作 者： 赵高扬 张卫华 王哲哲 赵卫 蒋百灵 作者单位： 赵高扬,张卫华,王哲哲,蒋百灵(西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048)赵卫(中国科学院,西安精密光学机械研究所,西安,710068)
刊 名： 自然科学进展 ISTIC PKU 英文刊名： PROGRESS IN NATURAL SCIENCE 年，卷(期)： 2007 17(2) 分类号： O6 关键词： 二氧化锆 薄膜 感光性 二维格子 激光干涉