Ti/TiO2多层膜的光电性能研究

Ti/TiO2多层膜的光电性能研究

用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能.电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前后的透射谱;用X射线衍射仪和扫描电镜检测了Ti/TiO2多层膜的晶体结构和表面形貌.

作 者： 武素梅 薛钰芝 苏梦 WU Su-mei XUE Yu-zhi SU Meng   作者单位： 大连交通大学材料科学与工程学院,辽宁,大连,116028  刊 名： 真空  ISTIC PKU 英文刊名： VACUUM  年，卷(期)： 2007 44(4)  分类号： O484.4  关键词： Ti/TiO2多层膜   真空蒸发   类负阻效应   光电性能  

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