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高效平面全息衍射光栅的获取方法

时间：2021-12-10 17:56:54 数理化学论文我要投稿

高效平面全息衍射光栅的获取方法

从全息衍射光栅的制作原理出发，介绍了全息光栅的主要制作方法，并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计，同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术。

作者：赵博齐向东 ZHAO Bo QI Xiang-dong 作者单位：赵博,ZHAO Bo(北京大学遥感与地理信息系统研究所,)

齐向东,QI Xiang-dong(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,)

刊名：光学精密工程 ISTIC EI PKU 英文刊名： OPTIC AND PRECISION ENGINEERING 年，卷(期)： 2001 9(2) 分类号： O436.1 关键词：全息光栅离子刻蚀衍射效率

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